概述
大型的設(shè)備在潔凈室就位后就固定不動或相對的不移動。如果在設(shè)施完工后要撤走或重新就位這類設(shè)備，就需要極大的工作量。
一、潔凈進(jìn)入程序
要在潔凈室中使用的設(shè)備，有可能時(shí)應(yīng)該在潔凈條件下制造，其包裝程序也應(yīng)該符合潔凈室內(nèi)的要求，把設(shè)備送入潔凈室的過程不應(yīng)增加對環(huán)境的污染。
進(jìn)入“空態(tài)”或“靜態(tài)”潔凈室的設(shè)備應(yīng)該正確的拆包、清洗，否則以后要做大量的潔凈工作。特別應(yīng)該注意的是設(shè)備進(jìn)入“動態(tài)”潔凈室前應(yīng)該考慮的問題，這不僅會使?jié)崈羰姨幱谖廴镜娘L(fēng)險(xiǎn)中，還會危及工藝過程中的產(chǎn)品，同樣要求大量的潔凈工作，而且還要按ISO14664-2重新認(rèn)證潔凈室。應(yīng)該制定適當(dāng)?shù)牟呗?，避免出現(xiàn)上述問題。
二、拆包
所有設(shè)備都要檢查在運(yùn)輸中有無損壞，有疑問的或損壞的物品應(yīng)該隔離在潔凈室外或保護(hù)起來，待采取適當(dāng)?shù)男袆印？赡軙r(shí)，運(yùn)輸用的板條箱應(yīng)該在潔凈室臨近的未受控的環(huán)境內(nèi)拆封，所有硬紙板和重型脫屑的材料都應(yīng)先拆封，再運(yùn)進(jìn)受控環(huán)境。如果沒有預(yù)包裝，則設(shè)備的所有表面都應(yīng)該預(yù)清潔，然后再運(yùn)進(jìn)潔凈區(qū)，最好在設(shè)備用氣閘內(nèi)進(jìn)行清潔。
如果設(shè)備過大，要求采用特殊的安裝程序，則該區(qū)應(yīng)用臨時(shí)墻與周圍的潔凈室或其他受控區(qū)隔離開，設(shè)備應(yīng)該分步進(jìn)行拆包，控制污染進(jìn)入潔凈室。可以在氣閘或潔凈室附近專門臨時(shí)修建的房間內(nèi)拆掉最外面的薄膜材料，作進(jìn)入潔凈室前的清潔工作。
下面是拆包過程中應(yīng)該遵循的步驟的一個(gè)例子：
（1）對外層進(jìn)行真空清潔，從頂部表面開始，向兩側(cè)吸進(jìn)去；
（2）用適當(dāng)?shù)那鍧崉┎潦猛庾o(hù)層；
（3）包裝膜的外層應(yīng)從頂部撕開一個(gè)“Ⅰ”型的口子，從頂部到底邊剝離，然后把包裝膜的底邊提起，和側(cè)邊的膜一起剝下；
（4）每層包裝膜都要按（2）和（3）中的程序重復(fù)進(jìn)行，設(shè)備的所有外部表面都要徹底清潔；
（5）所有人員進(jìn)入氣閘前都要穿上適當(dāng)?shù)那鍧嵎?br />
（6）所有移動用、搬用用設(shè)備按（1）的程序在氣閘內(nèi)進(jìn)行清潔；
（7）打開氣閘潔凈室一側(cè)的門把設(shè)備進(jìn)入潔凈室前應(yīng)該先清潔氣閘室。
三、運(yùn)輸設(shè)備
大型設(shè)備應(yīng)該拆卸（可能時(shí)）到能保證安全入室的大小，以使人和現(xiàn)有潔凈室的風(fēng)險(xiǎn)降至最小。這些大的裝置與固定的表面和其它工具接觸時(shí)，可能會造成物理損壞和污染。任何用于卡開設(shè)備的提升、牽引或定位專用設(shè)備在進(jìn)入潔凈室前必須清潔，這類設(shè)備可能不是專為潔凈室設(shè)計(jì)和維護(hù)的，應(yīng)該徹底的檢驗(yàn)有無脫屑、剝落的表面或不宜于運(yùn)入潔凈室的材料，通常用與潔凈室相容的塑料薄膜或袋子包纏并密封這些工具即可，可以用潔凈室專用帶包住軟橡膠輪，避免在地面上留下橡膠或塑料粒子的痕跡。
四、安裝程序
安裝設(shè)備的有效方法是把設(shè)備與潔凈室環(huán)境的其余部分隔離開，用臨時(shí)的隔離墻或隔斷設(shè)備周圍，設(shè)備周圍留出足夠的空間，保證不妨礙設(shè)備的安裝。
1、如果可能就通過服務(wù)通道或其他非關(guān)鍵區(qū)進(jìn)入隔離區(qū)，如果不可能，應(yīng)采取措施盡量減少由結(jié)構(gòu)造成的污染，流向該隔離區(qū)的氣流應(yīng)該保持中性壓力或負(fù)壓，避免氣流強(qiáng)制流出工作區(qū)帶來污染的可能性。
2、完全密封的隔離區(qū)不應(yīng)從內(nèi)部加壓，否則污染可能會穿透屏障，影響周圍的潔凈室。隔離區(qū)內(nèi)應(yīng)該阻斷潔凈空氣的送風(fēng)，避免給周圍的潔凈室造成壓力。如果只有通過相鄰的潔凈室才能進(jìn)入隔離區(qū)，應(yīng)該采用粘性墊，除掉鞋子上帶的污染。進(jìn)入隔離區(qū)后，可能要求用一次性靴子或鞋套來避免污染潔凈服，離開隔離區(qū)前要把這些一次性物品脫下。
3、應(yīng)該制定監(jiān)控隔離區(qū)周圍區(qū)域的辦法和頻率，確保能檢測出任何滲漏進(jìn)相鄰潔凈室內(nèi)的污染。
4、然后，假設(shè)各種動力設(shè)施，如電、水、氣體、真空、壓縮空氣和廢水管道。應(yīng)該注意對這些作業(yè)產(chǎn)生的煙氣和殘物盡可能全部加以控制和包納，避免由于疏忽而弄到周圍的潔凈室內(nèi)，這也有助于拆除隔離屏障前能有效的清潔。
5、然后應(yīng)該采用認(rèn)可的潔凈程序清除整修隔離區(qū)的污染，所有表面都要真空清潔、擦拭和清理，包括所有的墻、固定的和便攜式的設(shè)備及地面。
6、要特別注意設(shè)備護(hù)板后面和設(shè)備下面區(qū)域的清潔。
7、做一些內(nèi)部的準(zhǔn)備工作和設(shè)備性能的初步測試，但最后驗(yàn)收的測試要求完全具備潔凈室條件才行。
8、小心的拆除隔離墻，經(jīng)過過濾的空氣可以接入送風(fēng)，進(jìn)行這一步的時(shí)間應(yīng)該仔細(xì)的選定，盡量減少對潔凈室內(nèi)正常工作的干擾，還可要求做粒子測量或測試。
9、設(shè)備內(nèi)部和關(guān)鍵的加工小室應(yīng)該在正常的潔凈室條件下進(jìn)行清潔和投入使用的準(zhǔn)備工作。
10、對所有適當(dāng)?shù)膬?nèi)腔室和所有與產(chǎn)品接觸或涉及產(chǎn)品傳遞的表面都要進(jìn)行擦拭，達(dá)到要求的潔凈度級別。設(shè)備的清潔程序應(yīng)該是從頂?shù)降?，因?yàn)槿绻辛Ｗ由⒉?，較大的粒子會因重力而落到設(shè)備的底部或地面上。
11、清潔設(shè)備外部，順序也是從頂?shù)降住?br />
12、必要時(shí)，應(yīng)該檢查產(chǎn)品或工藝要求非常關(guān)鍵的區(qū)域的表面粒子情況。
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